PECVD 等微观加工设备研发制造 ，广州公司整体规划总投资 30 亿元 。中微总部并持续拓展智能玻璃、华南装配功能于一体 。及生集研发、产基

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，地期位于广州增城经济技术开发区的封顶中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，广州公司测试 、中微总部

近日 ，华南向着既定建成投产目标稳步推进 。及生本次封顶的产基一期项目占地约 50 亩，投资约 10 亿元，地期板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。封顶

广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、